空气压力与电气信号成正比，实现压力的

连续控制

最高供给压力: 5.0MPa

设定压力范围: 0.01~3.0MPa

最大流量: 3000L/min (ANR)

使用气体:空气、N2、O2、Ar

接触流量部位:使用氟系油脂