体积小，重量轻
压力设定精确
调节螺钉的齿间距由传统的0.75mm改为0.5mm
安装方便，可用托架独立安装或与现在的模块式过滤组合元件AF及AFM直接安装
标准型也带面板安装。注6)先导排气口与主排气口分开
可在洁净房使用(特注产品)
NIR3000比传统的精密减压阀NIR2000输出流量大
NIR3000比传统的精密减压阀NIR2000溢流流量大
体积小，重量轻。
压力设定精确。
调节螺钉的齿间距由传统的0.75mm改为0.5mm
安装方便，可用托架独立安装；或与现在的模块式过滤组合元件AF及AFM直接安装。
标准型也带面板安装。
先导排气口与主排气口分开。
可在洁净房使用(特注产品)。
NIR3000比传统的精密减压阀NIR2000输出流量大。
NIR3000比传统的精密减压阀NIR2000溢流流量大。
| 型号注 | 規格 | 配件(任选项) | ||||
| 最低使用压力(MPa) | 设定压力范围(MPa) | 接口管径 | 压力表型号 | 托架型号 | ||
| 标准型 | NIR1000-01 |
设定压力
+ 0.5 |
0.005-0.2 | 1/8 | G33-2-01 | P36201023 |
| NIR1010-01 | 0.01-0.4 | G33-4-01 | ||||
| NIR1020-01 | 0.01-0.8 | G33-10-01 | ||||
| NIR2000-02 | 0.005-0.2 | 1/4 | G43-2-01 | P36202028 | ||
| NIR2010-02 | 0.01-0.4 | G43-4-01 | ||||
| NIR2020-02 | 0.01 ~0.8 | G43-10-01 | ||||
| NIR3000-口 |
设定压力
+ 0.1 |
0.01-0.2 |
1/4 , 3/8 , 1/2 |
G43-2-01 | P362030-20 | |
| NIR3010-口 | 0.01-0.4 | G43-4-01 | ||||
| NIR3020-口 | 0.01-0.8 | G43-10-01 | ||||
| 气控型 | NIR2120-02 |
设定压力
+ 0.05 |
0.01-0.8 | 1/4 | P36202028 | |
| NIR3120-口 |
设定压力
+ 0.1 |
0.01-0.8 | 1/4,3/8,1/2 | P362030-20 | ||
注2)口-代表接管口径
02=Rc1/4
03= Rc3/8
04= Rc1/2
| 灵敏度 | 在0.2%满刻度以内 | ||
| 重复精度 | 在±0.5%满刻度以内 | ||
| 耗气量 | NIR10口0 | 最大 4.4L/min(ANR)在 1 .OMPa 压力下 | |
|
NIR20口0 NIR2120 |
最大 4.4L/min(ANR)在 1 .OMPa 压力下 | ||
|
NIR30口0 NIR3120 |
最大 11.5L/min(ANR)在 1 .OMPa 压力下 | ||
| 环境及流体温度 | -5℃~60℃（未冻结） | ||
| 最高使用压力 | 1.0MPa | ||
| 压力连接口径 | Rc1/8 | ||
注1）供气侧需加装空气过滤(AF)和油雾分离器(AM、AFM)使用。
